Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
AUTOR(ES)
Yamato Miyao
DATA DE PUBLICAÇÃO
2004
RESUMO
ormado.
ASSUNTO(S)
deposição quimica de vapor plasma de microondas filmes finos de diamantes
ACESSO AO ARTIGO
http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000321637Documentos Relacionados
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