Construction and analysis of a photometric elipsometer with rotating compensator. / Construção e análise de um elipsômetro de compensador girante.

AUTOR(ES)

Adao Antonio da Silva

DATA DE PUBLICAÇÃO

1985

RESUMO

In this work we describe the theory, construction and most important applications of a photometric elipsometer with routing compensator and fixed analyzer. We also analyze the procedures for measuring the polarization states of a light beam and the complex dielectric constant of a substrate of gold, in order to verify the performance of instrument. A comparative analysis of the sensibility (or resolution power) of the elipsometer built with an elipsometer of routing was also made. We show that the results of the measurements are independent of the intensity of the incident light.

ASSUNTO(S)

elipsômetro elipsometric technique filmes finos compensator elipsometer técnica elipsométrica elipsômetria compensador thin films

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