Elipsometro
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1. Estudo de filmes PC/PMMA voltado para aplicações em dispositivos termo-ópticos
Este trabalho buscou desenvolver um substituto à sílica como base material de funcionamento óptico de dispositivos termo-ópticos, onde os parâmetros críticos utilizados foram o índice de refração, o coeficiente termo-óptico e a escolha da janela espectral de operação, tendo como foco aplicativo o estudo de materiais para um sensor de temperatura.
Publicado em: 2011
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2. Plasma etching of polysilicon and silicon nitride films for MEMS and CMOS technology / Corrosão por plasma de filmes de silicio policristalino e nitreto de silicio para tecnologia MEMS e CMOS
Este trabalho apresenta os resultados e as discussões dos mecanismos de corrosão por plasma de filmes de silício policristalino e nitreto de silício para aplicações em dispositivos MEMS e CMOS. A corrosão foi feita em um reator convencional de corrosão por plasma em modo RIE (Reactive Ion Etching). Para aplicação em MEMS, corrosões de silício pol
Publicado em: 2005
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3. Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsometro
Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas ópticas nas medidas elipsométricas. A verificação do d
Publicado em: 1987
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4. Construction and analysis of a photometric elipsometer with rotating compensator. / Construção e análise de um elipsômetro de compensador girante.
In this work we describe the theory, construction and most important applications of a photometric elipsometer with routing compensator and fixed analyzer. We also analyze the procedures for measuring the polarization states of a light beam and the complex dielectric constant of a substrate of gold, in order to verify the performance of instrument. A compara
Publicado em: 1985
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5. Construção de um elipsometro fotometrico automatico
Neste trabalho descrevemos a teoria e a construção de um Elipsômetro Fotométrico Automático e a sua aplicação à medida das partes real e imaginária da constante dielétrica de um filme de ouro em todo espectro visível. O instrumento é controlado por um microcomputador que também é usado para redução de dados. Incluímos também uma discussão
Publicado em: 1982