Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsometro

AUTOR(ES)

Alexandre de Almeida Prado Pohl

DATA DE PUBLICAÇÃO

1987

RESUMO

Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas ópticas nas medidas elipsométricas. A verificação do desempenho do aparato experimental foi realizada depositando-se filmes de diversos metais e analisando-se os resultados para as respectivas constantes ópticas. A cinética de oxidação dos filmes recém-evaporados pôde ser acompanhada, revelando a potencial Idade do Instrumento no estudo da dinâmica de superfícies

ASSUNTO(S)

elipsometria superficies (fisica)

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