Construção de um elipsometro fotometrico automatico

AUTOR(ES)

Alvaro Jose Damião

DATA DE PUBLICAÇÃO

1982

RESUMO

Neste trabalho descrevemos a teoria e a construção de um Elipsômetro Fotométrico Automático e a sua aplicação à medida das partes real e imaginária da constante dielétrica de um filme de ouro em todo espectro visível. O instrumento é controlado por um microcomputador que também é usado para redução de dados. Incluímos também uma discussão da precisão e sensibilidade do instrumento, mostrando também como os resultados das medidas são independentes da intensidade da luz incidente

ASSUNTO(S)

elipsometria calibração

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