Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

AUTOR(ES)

Silvia Elisabeth Sauaia Lopes

DATA DE PUBLICAÇÃO

1996

RESUMO

Tanks for constant temperature bath need a temperature and related functions moni toring and control system. Temperature control must be constant and precise; alarm and automatic switching off conditions must be provided. This work is to study, implement and test a microprocessor controller s prototype for such tanks. This work presents a digital controller with a PID control scheme, based in the architecture of the Intel s 8051 microcontroller, with high performance, strong, efficient and simple, characteristics verified through practical tests made at the end of the project

ASSUNTO(S)

controladores pid microeletronica intel 8051 (microprocessador) controle de temperatura

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