Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.

AUTOR(ES)

Parada, Sérgio Wener Chula

DATA DE PUBLICAÇÃO

2010

RESUMO

Com o uso de uma sonda de Langmuir e modelos numéricos se investigou uma descarga de oxigênio num reator acoplado capacitivamente a uma fonte de radiofrequência, com o propósito de se estudar os parâmetros intrínsecos do plasma, como densidade eletrônica e iônica, potencial flutuante, potencial do plasma, temperatura eletrônica, potencial da bainha catódica - VDC, em relação aos parâmetros de processo: potência e pressão. Dentre os resultados apresentados neste trabalho destacamos a boa concordância da densidade eletrônica calculada pelo Modelo Global - MG, e medida pela sonda de Langmuir. Além disso, tanto o método partícula-na-célula - PIC quanto o MG apresentaram uma boa concordância em relação a temperatura eletrônica simulada e medida experimentalmente. Foi observado experimentalmente que a temperatura eletrônica - Te, é intensificada para pressões abaixo de 30 mTorr, embora a densidade eletrônica seja baixa, como é característico do reator de corrosão a plasma por íons reativos - RIE. Aumentando-se a potência consegue-se um aumento da densidade eletrônica e iônica, embora a temperatura tenda a se manter em torno de 2 eV, para potências acima de 50 W. Um aumento da temperatura eletrônica apenas é substancial para potências menores que 30 W, para qualquer valor de pressão, embora para essa faixa de potência a densidade eletrônica seja baixa. Uma anomalia no perfil da densidade eletrônica em função da pressão foi encontrada para a região em torno de 85 mTorr. Estudos complementares serão conduzidos com o objetivo de melhor esclarecer essa anomalia. Por último, a FDEE se mostrou bi-Maxwelliana para pressões abaixo de 20 mTorr para todos os valores de potência investigados.

ASSUNTO(S)

descargas elétricas reatores sonda de langmuir baixa pressão diagnóstico de plasmas física de plasmas oxigênio processamento de materiais a plasma radiofrequência simulação de plasma

Documentos Relacionados

• Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.
• Modelo global aplicado a uma descarga de oxigÃnio a baixa pressÃo.
• Análise morfológica e química do Si corroído por jato de plasma a baixa pressão.
• Análise morfológica e química do Si corroído por jato de plasma a baixa pressão.
• Estudo de um silenciador de descarga de alta pressão