Sonda De Langmuir
Mostrando 1-12 de 17 artigos, teses e dissertações.
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1. Estudos de descargas de plasma contínuas / DC plasma discharge studies
O conhecimento das condições para ruptura de gases e a formação de plasma são questões importantes, não apenas de interesse fundamental, mas também para muitas aplicações, tais como em deposição de filmes finos de óxido ou polímeros, limpeza de superfície de materiais ou implantação iônica, por exemplo. A ruptura de gases descrita pela lei
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 29/02/2012
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2. Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.
Com o uso de uma sonda de Langmuir e modelos numéricos se investigou uma descarga de oxigênio num reator acoplado capacitivamente a uma fonte de radiofrequência, com o propósito de se estudar os parâmetros intrínsecos do plasma, como densidade eletrônica e iônica, potencial flutuante, potencial do plasma, temperatura eletrônica, potencial da bainha
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 23/06/2010
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3. Crescimento de filmes finos cristalinos de dióxido de titânio por sistemas magnetron sputtering.
Nesse trabalho é reportado o crescimento de filmes finos de dióxido de titânio (TiO2) por duas técnicas assistidas a plasma chamadas magnetron sputtering convencional (MSC) e magnetron sputtering catodo oco (MSCO). O dióxido de titânio foi crescido sobre substratos de silício, variando alguns parâmetros de plasma como, por exemplo, a distância axial
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 26/02/2010
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4. Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.
Com o uso de uma sonda de Langmuir e modelos numéricos se investigou uma descarga de oxigênio num reator acoplado capacitivamente a uma fonte de radiofrequência, com o propósito de se estudar os parâmetros intrínsecos do plasma, como densidade eletrônica e iônica, potencial flutuante, potencial do plasma, temperatura eletrônica, potencial da bainha
Publicado em: 2010
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5. Crescimento de filmes finos cristalinos de dióxido de titânio por sistemas magnetron sputtering.
Nesse trabalho é reportado o crescimento de filmes finos de dióxido de titânio (TiO2) por duas técnicas assistidas a plasma chamadas magnetron sputtering convencional (MSC) e magnetron sputtering catodo oco (MSCO). O dióxido de titânio foi crescido sobre substratos de silício, variando alguns parâmetros de plasma como, por exemplo, a distância axial
Publicado em: 2010
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6. Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Neste trabalho foram realizadas investigações em plasmas fluorados CF4 e SF6 e em suas aplicações no processo de corrosão de lâminas de Si. Estes plasmas foram gerados no convencional reator RIE de eletrodo planar e em dois reatores especialmente desenvolvidos para os estudos previstos: reator RIE com eletrodo oco e reator constritivo para geração de
Publicado em: 2009
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7. Development of a microplasma generator using the LTCC technology. / Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC.
Microplasmas são plasmas gerados em espaços com dimensões reduzidas, tipicamente, de dezenas a centenas de micrômetros. Apresentam como principal vantagem a possibilidade de se obter plasmas frios com densidades elevadas com baixo consumo de energia em pressões maiores do que em reatores convencionais, reduzindo sensivelmente o custo do equipamento. Um
Publicado em: 2008
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8. Construction and characterization of an inductive reactor : ICP for corrosion of material / Construção e caracterização de um reator indutivo : ICP para corrosão de materiais
Esta dissertação apresenta as etapas do trabalho de construção de um Reator ICP destinado a processos de micro fabricação, mais precisamente, destinado a corrosões profundas de Silício a taxas de corrosões elevadas. O modelamento e as caracterizações do reator ICP foram feitas através de um protótipo e depois aplicadas a um equipamento da LAM Re
Publicado em: 2008
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9. CaracterizaÃÃo do jato de plasma gerado pelo processo de ablaÃÃo a laser de vapor de cobre.
Neste trabalho foram realizados estudos experimentais com objetivo de caracterizar um jato de plasma gerado pelo processo de ablaÃÃo a laser de vapor de cobre em amostras metÃlicas (alumÃnio, cobre e tungstÃnio). Apesar de poucas referÃncias citarem o laser de vapor de cobre no processo de evaporaÃÃo de metais, verificou-se que sua utilizaÃÃo no pr
Publicado em: 2007
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10. Spectral features of E- and F-region plasma irregularities as observed by rocket-borne electron density probes from Brazil
A variação com altura da densidade eletrônica na ionosfera foi medida com sondas de densidade eletrônica a bordo de foguetes de Alcântara (2.31ºS; 35.2ºO) no Brasil. Um foguete de sondagem "Black Brant X" foi lançado no dia 14 de outubro de 1994 às 19h55min (LT) para investigar o fenômeno de Espalhamento-F na alta ionosfera equatorial. Equipamentos
Revista Brasileira de Geofísica. Publicado em: 2007
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11. Estudos em plasmas gerados em sistema magnetron para deposiÃÃo de nitreto de alumÃnio em baixa temperatura.
O nitreto de alumÃnio (AlN) tem atraÃdo muito interesse pelas suas notÃveis propriedades fÃsicas: dureza, alta condutividade tÃrmica, resistÃncia para altas temperaturas. Uma fonte de catodo oco DC foi adicionada a um sistema de sputtering magnetron. Isto leva a uma ionizaÃÃo na regiÃo do catodo e habilita a descarga a operar a pressÃes significati
Publicado em: 2007
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12. Catodo oco com constriÃÃo para corrosÃo de materiais eletrÃnicos em alto vÃcuo.
Neste trabalho foram desenvolvidos estudos sobre um jato de plasma com o objetivo de aperfeiÃoar seu emprego para corrosÃo (plasma etching) de materiais eletrÃnicos. Foi investigado um novo tipo de reator, recentemente desenvolvido, no qual um jato de plasma à gerado em alto vÃcuo a fim de proceder à corrosÃo dos materiais. Com o intuito de determinar
Publicado em: 2006