CorrosÃo de filmes finos de carbono tipo diamandte (DLC) em pressÃo sub atmosfÃrica.

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

2007

RESUMO

Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC) sÃo materiais promissores para o uso em indÃstria de micro e nanoeletrÃnica, por suas singulares propriedades fÃsicas e quÃmicas. Para estas aplicaÃÃes, os filmes de DLC sÃo normalmente submetidos a processos de corrosÃo a plasma em baixa pressÃo, os quais necessitam de um sofisticado sistema de vÃcuo e injeÃÃo de gases. Neste trabalho foi desenvolvido e testado um sistema de configuraÃÃo simples e barata para a corrosÃo de filmes de DLC. Este sistema à baseado em descarga de barreira dielÃtrica (DBD), operando com oxigÃnio em pressÃes prÃximas a atmosfÃrica. O fluxo de partÃculas provenientes da descarga da barreira dielÃtrica foi injetado a uma cÃmara de trabalho, onde um porta-substrato foi colocado a uma certa distÃncia suficiente para interceptar o fluxo de gÃs na saÃda da descarga. O reator desenvolvido passou por sucessivas modificaÃÃes, dando origem a cinco configuraÃÃes que se diferenciaram, basicamente, pela geometria do reator e do potencial elÃtrico aplicado ao porta-amostras. O desempenho do processo de corrosÃo nestes sistemas foi avaliado atravÃs da corrosÃo de filmes de DLC nas seguintes condiÃÃes de operaÃÃo: pressÃo de 55,0 a 75,0 kPa, tempo de processo variando entre 1 e 20 min e distÃncia entre eletrodo-amostra de 5 e 10 mm. As principais tÃcnicas de caracterizaÃÃo dos filmes corroÃdos foram microscopia de forÃa atÃmica (AFM), espectroscopia Raman e perfilometria. Os resultados mostram taxas de corrosÃo de atà 7nm/min sendo obtidos com potÃncia menor que 3W. A DBD foi caracterizada atravÃs do mÃtodo de Manley usando figuras de Lissajous, com base nas condiÃÃes de pressÃo e distÃncia de eletrodo, que representam a regiÃo "Ãtima" de trabalho do reator. Os resultado mostram descargas com energias entre 1,58 atà 3,50W rms com uma fonte AC de 11 kV - 500 Hz.

ASSUNTO(S)

filmes tipo diamante filmes finos descargas elÃtricas carbono corrosÃo pressÃo atmosfÃrica

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