Circuitos integrados de microondas usando metalizaãço de cobre ou de cromo-ouro em subsolo de alumina

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1981

RESUMO

Neste trabalho foram apresentadas duas tecnologias possíveis de serem utilizadas na fabricação de microlinhas de transmissão, para integração de circuitos de microondas. A primeira, de uso mais diversificado, é a de evaporação de Cromo e Ouro, e a segunda é a de deposição química de Cobre, de realização mais fácil e barata. Foram construídos circuitos nas duas tecnologias e comparados os resultados, observando-se valores de atenuação ligeiramente menores para os circuitos de Cobre. Por outro lado os circuitos de Cromo-Ouro apresentaram melhor aderência ao substrato de alumina. Este trabalho permitiu a verificação de que a deposição química de Cobre abre novos horizontes para a construção de microlinhas de transmissão como alternativa à evaporação de Cromo-Ouro até agora utilizada mas que se caracteriza como sendo de alto custo

ASSUNTO(S)

alumina circuitos integrados de microondas metalização - processos

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