Triodo Magnetron Sputtering Tms
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1. Influência de filmes de INCONEL 600, depositados por triodo-magnetron-sputtering, na resistência à corrosão de substratos de latão C360
The objective of this work is to evaluate the corrosion resistance of Brass C360 samples coated with INCONEL 600 films, obtained by the plasma at configuration Triodo agnetron Sputtering (TMS) technique. In order to compare had been deposited films with different parameters (time of deposition and potential to the substrate) obtaining coatings with different
Publicado em: 2006
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2. Deposições reativas por Triodo-Magnetron-Sputtering: efeitos da malha da tela no processo de envenenamento do alvo e nas propriedades de filmes de TiN.
O triodo magnetron sputtering (TMS) é caracterizado pela presença de uma tela posicionada em frente ao magnetron. Neste trabalho realizou-se uma investigação experimental do efeito da malha da tela no processo de deposição e nas propriedades físicas dos filmes de TiN. Determina-se as curvas de histerese para três diferentes malhas de tela(18,10,5) co
Publicado em: 2004
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3. Desposição de filmes metálicos sobre a poli(Tereflalato de etileno) via Triodo-Magnetron- Sputtering: influência da corrente e das voltagem nas propriedades do filmes
O Triodo Magnetron Sputtering (TMS) é um sistema de deposição de filmes caracterizado pela introdução de um terceiro eletrodo, que é constituído de uma tela móvel aterrada, situado entre o catodo (alvo) e o anodo (substrato). Esta tela tem o papel de capturar elétrons frios (menos energéticos) da descarga. Alterando-se a posição relativa desta te
Publicado em: 2004