Reactive Ion Etching
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1. Evaluation of piezoresistivity properties of sputtered ZnO thin films
Zinc oxide (ZnO) thin films were deposited by RF reactive magnetron sputtering on silicon (100) substrates under different experimental conditions. ZnO films were studied before and after annealing treatment at 600 °C. The crystallinity, electrical resistivity, stoichiometry, thickness, and elastic modulus of the films were investigated. ZnO piezoresistors
Mat. Res.. Publicado em: 03/06/2014
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2. Aplicações de corrosão por plasma usando reatores ICP e RIE para tecnologia MEMS / Plasma etching applications using ICP and RIE reactors for MEMS technology
This thesis is based on etching processes applications in cold plasmas (room temperature) using RIE (Reactive Ion Etching) and ICP (Inductively Coupled Plasma), as reactors, applied to specific areas of microelectronics and MEMS devices in semiconductors industries and laboratories. Five applications are presented: Thinning gate CMOS Transistor - conventiona
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 28/08/2012
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3. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. / Development of a atomistic microfabrication simulation software based on celullar automata.
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades b
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 30/05/2011
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4. Ressonadores de microdiscos com região ativa nanoestruturada bombeados por injeção eletrônica / Microdisk resonators with nanostructured active region pumped by electronic injection
This doctorate¿s thesis presents the growth of InAs quantum dots directly on high bandgap InGaAsP (?g=1420 nm) barriers to be used as the active region of microdisk resonators with emission in the C-band (1520¿1570 nm). Based on photoluminescence and atomic force microscopy experiments, the occurrence of inter-diffusion on the InAs/InGaAsP interface is cal
Publicado em: 2010
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5. Chlorine plasma etching of polysilicon films for MEMS and MOS devices / Corrosão de filmes de silicio policristalino por plasma para aplicações em dispositivos MEMS e MOS utilizando misturas de gases com cloro
This work presents the results and the discussion about mechanisms of plasma etching of polysilicon and silicon films for applications in MEMS and MOS devices. The etching was performed in a conventional reactor of plasma etching, Applied Materials PE8300A model, in a RIE mode (Reactive Ion Etching). For application in MEMS, polysilicon etching with anisotro
Publicado em: 2009
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6. Desenvolvimento de sensores piezoresistivos de SiC visando aplicação em sistemas aeroespaciais.
Esta tese avalia o potencial de filmes de carbeto de silício (SiC) produzidos por duas técnicas assistidas por plasma, PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) e RF magnetron sputtering, para o desenvolvimento de sensores piezoresistivos. Os trabalhos desenvolvidos abrangeram todas as etapas de síntese e caracterização dos filmes, bem como o es
Publicado em: 2009
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7. DLC with silver nanoparticles study for space and biomedical applications / Estudo de crescimentos de filmes de DLC com nanopartículas de prata para aplicações espaciais e biomédicas
Diamond-like carbon (DLC) is a metastable form of amorphous carbon with high mechanical hardness, chemical inertness, optical transparency, low friction coefficient and its wear resistant. Since centuries, silver is known as bactericidal agent and, as a soft metal, its also used as a solid lubricant. This project develops a deposition process to insert silve
Publicado em: 2008
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8. Estudo de crescimentos de filmes de DLC com nanopartículas de prata para aplicações espaciais e biomédicas / DLC with silver nanoparticles study for space and biomedical applications
O DLC (Diamond Like Carbon) é uma forma metaestável do carbono amorfo que reúne propriedades físicas e químicas, tais como, elevada dureza mecânica, estabilidade química, transparência no visível, baixa fricção e elevada resistência ao desgaste. A prata há muito tempo é conhecida por sua ação bactericida e, por ser um metal macio, é também
Publicado em: 2008
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9. Fabricação e caracterização de Guia de Onda Polimerica a base de PMMA modificado por plasma de CHF3 / Polymeric optical waveguides fabricated by plasma fluorination process
Polymeric optical devices have been studied in communication and interconnection optics due to the intrinsic versatility of polymers molecular structure, that allows advantageous refractive index modeling for core and cladding, and also to their easy fabrication process or patterning capability. PMMA, polymethylmetacrylate, shows the best optical properties
Publicado em: 2007
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10. Efeito da corrosÃo por plasma nas propriedades eletro-emissivas de filmes de carbono tipo diamante nitrogenados.
O objetivo deste trabalho à estudar a emissÃo eletrÃnica induzida por efeito de campo elÃtrico em filmes de carbono tipo diamante nitrogenados. Os filmes de carbono tipo diamante nitrogenados (NDLC) utilizados neste trabalho foram obtidos atravÃs da tÃcnica de deposiÃÃo por pulverizaÃÃo catÃdica com campo magnÃtico (magnetron sputtering), utiliza
Publicado em: 2007
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11. Cristais fotonicos 2 D : projeto e fabricação / 2D photonic crystals : design and fabrication
Nesta tese foi utilizado um programa baseado em elementos finitos para projetar cristais fotônicos bidimensionais, assim como foram desenvolvidos processos de litografia holográfica para gravação destas estruturas fotônicas em filmes de carbono amorfo hidrogenado, depositados sobre substratos de vidro. O projeto dos parâmetros geométricos das estrutur
Publicado em: 2006
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12. Desenvolvimento de sistema de esterilização por plasma a baixa pressão, usando sistema de acoplamento capacitivo e acoplamento indutivo / Development of plasma sterilization system at low pressure, using capacitive and inductively coupling system
O objetivo deste estudo foi avaliar a eficácia da esterilização por plasma, utilizando como sensor o indicador biológico, esporos deBacillus subtilis. Nesse estudo foram utilizados reatores constituídos de acoplamento capacitivo modo RIE (Reactive Ion Etching) e acoplamento indutivo modo ICP (Inductively Coupled Plasma),sendo esse último classificado e
Publicado em: 2006