Pulverizaaao Catadica
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1. Efeito da corrosÃo por plasma nas propriedades eletro-emissivas de filmes de carbono tipo diamante nitrogenados.
O objetivo deste trabalho à estudar a emissÃo eletrÃnica induzida por efeito de campo elÃtrico em filmes de carbono tipo diamante nitrogenados. Os filmes de carbono tipo diamante nitrogenados (NDLC) utilizados neste trabalho foram obtidos atravÃs da tÃcnica de deposiÃÃo por pulverizaÃÃo catÃdica com campo magnÃtico (magnetron sputtering), utiliza
Publicado em: 2007
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2. Efeitos do recozimento tÃrmico nas propriedades fisÃcas e elÃtricas do filme de carbeto de silÃcio.
Este trabalho descreve o estudo de filmes de carbeto de silÃcio (SiC) depositados sobre substratos de silÃcio e carbono vÃtreo por meio de sputtering de um alvo de SiC com pureza de 99,5%, localizado sobre o catodo magnetron de uma descarga de rÃdio-freqÃÃncia do gÃs argÃnio. As deposiÃÃes foram realizadas variando-se a potÃncia entre 100W e 500W,
Publicado em: 2005
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3. Estudos das caracterÃsticas tribolÃgicas de filmes de DLC para aplicaÃÃes em sistema de lubrificaÃÃo seca.
Este trabalho teve como finalidade a realizaÃÃo de estudos das caracterÃsticas tribolÃgicas de filmes de carbono do tipo diamante (DLC - do InglÃs Diamond-Like Carbon) para aplicaÃÃes em sistema de lubrificaÃÃo seca. Os filmes foram obtidos via pulverizaÃÃo catÃdica por impacto de Ãons de argÃnio sobre um alvo de grafita. A descarga para produ�
Publicado em: 2004
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4. Estudo das propriedades de filmes finos de nitreto de alumÃnio produzidos por processo de "magnetron sputtering" em regimes contÃnuo (DC) e alternado (RF).
Este trabalho tem como objetivo o estudo das propriedades de filmes finos de nitreto de alumÃnio produzidos por processo de "magnetron sputtering" usando-se alvo de alumÃnio de alto grau de pureza (99,999%). Os filmes foram produzidos em descargas a plasma sob regimes contÃnuo (DC) e alternado (RF). No curso deste estudo foi investigada a influÃncia da t
Publicado em: 2004
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5. Efeitos causados pela incorporaÃÃo de nitrogÃnio na rede estrutural e nas propriedades elÃtricas e mecÃnicas de filmes de carbono tipo-diamante.
Este trabalho teve como finalidade a realizaÃÃo da dopagem do filme de carbono tipo-diamante (DLC) em sua forma hidrogenada (a-C:H) utilizando-se Ãtomos de nitrogÃnio. Essa dopagem foi realizada pela tÃcnica de pulverizaÃÃo catÃdica reativa pela adiÃÃo de N2 em quatro diferentes pressÃes parciais: 4, 10, 20 e 30% em uma descarga elÃtrica de mistu
Publicado em: 2003
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6. CorrosÃo de ligas de titÃnio recobertas com carbono tipo diamante (DLC) em meio contendo cloreto.
Neste trabalho foi realizada a deposiÃÃo de filmes de carbono sobre a liga de titÃnio Ti-6Al-4V empregada nos setores aeronÃutico e biomÃdico. Os filmes de carbono amorfo foram depositados atravÃs da pulverizaÃÃo catÃdica, com auxÃlio de um campo magnÃtico, de um alvo de carbono com 99,999% de pureza com dois plasmas diferentes: um plasma constitu
Publicado em: 2003