Filmes Espessos Circuitos
Mostrando 1-2 de 2 artigos, teses e dissertações.
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1. Oxidação seletiva do silicio em baixas temperaturas : uma aplicação em dispositivos MOS auto-alinhados
Not informed
Publicado em: 1984
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2. Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados
A litografia faz parte de um conjunto de técnicas usadas na fabricação de circuitos integrados. As técnicas litográficas são genericamente englobadas nas denominadas litografia óptica e litografia por feixe de elétrons, das quais a primeira é ainda a mais difundida e, melhor estabelecida. A litografia óptica prevê o uso de máscaras (matrizes fina
Publicado em: 1982