Uma nova proposta para confecção da extensão da terminação da junção (JTE) em dispositivos planares de alta tensão
AUTOR(ES)
Janete Mouallem
DATA DE PUBLICAÇÃO
1991
RESUMO
Sabe-se que a curvatura da junção reduz a tensão de ruptura de junções p-n. Neste trabalho, desenvolveu-se uma técnica simples que usa pré-deposição convencional de boro com fontes dopantes sólidas, para fazer uma Extensão da Terminação da Junção (Junction Termination Extension - JTE) em substituição aos processos de implantação de íon de alto custo. Para a obtenção de níveis de dopagem extremamente baixos para a fabricação do JTE, uma camada de óxido bem fina é previamente crescida sobre o "wafer", por uma oxidação à baixa temperatura, atuando como uma barreira para a carga de boro, controlando a carga liquida que alcança a superfície do silício
ASSUNTO(S)
transistores de junção eletronica
ACESSO AO ARTIGO
http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000033816Documentos Relacionados
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