THERMODYNAMIC MODELLING OF CDTE THIN FILM DEPOSITION BY ELEMENTAL CO-EVAPORATION, UNDER ISOTHERMAL TRANSPORT / MODELAGEM TERMODINÂMICA DA DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS DE CDTE PELA CO-EVAPORAÇÃO DOS ELEMENTOS, EM CONDIÇÕES DE TRANSPORTE ISOTÉRMICO
AUTOR(ES)
MONICA CRISTINA RICCIO RIBEIRO
DATA DE PUBLICAÇÃO
2005
RESUMO
The objective of the present work is deposition of Cadmiun Telurides films from two sources of materials, Cd and Te, on the basis of the use of diagrams of thermodynamic potentials to evaluate the deposition conditions. In special, the considered method allows to evaluate the influence of gaseous contaminantes, such as, oxygen, on the condensed phases. The method can be applied for the deposition of other compounds that are more stable than the constituent elements. The equipment used in the deposition uses an alternative technique where the temperatures of source and substrate are the same ones.
ASSUNTO(S)
termodinamica computacional thin films processo de deposicao deposition process filmes finos telureto de cadmio computational thermodynamics cadmiun telluride
ACESSO AO ARTIGO
Documentos Relacionados
- Eletrocromismo em filmes finos compósitos
- Caracterização de filmes finos de CdTe por meio de teoria de escala anômala
- Medição de tensões residuais em filmes finos durante o processo de deposição.
- Eletrodeposição de filmes finos de CdTe para aplicação em células solares fotovoltáicas.
- Deposição de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por sputtering reativo.