Tecnicas de otimização para estimação de parametros de filmes finos

AUTOR(ES)

Sergio Drumond Ventura

DATA DE PUBLICAÇÃO

2005

RESUMO

Dentre os problemas inversos, a estimativa de parâmetros topticos tem significativa importância no estudo das propriedades fisicas de peliculas finas. Embora conhecido e estudado, não existem na atualidade tecnicas definitivas para a resolução deste problema. Para o problema direto, formulas compactas foram desenvolvidas para contemplar o caso de multiplos filmes, além do caso de um filme apenas com dados de reflretância. O índice de refração, o coeficiente de absorção e a espessura de filmes finos foram recuperados utilizando para isso dados de transmissão e/ou reflexão para vários comprimentos de onda. A abordagem usada foi a de formular o problema inverso como um problema de otimização, via quadrados mínimos não-lineares. Váarios modelos distintos foram usados para lidar com o alto grau de indeterminação naturalmente oriundo deste tipo de problema. Testes numéricos foram realizados usando dados (de filmes) medidos e gerados numericamente, mostrando a eficácia das abordagens.

ASSUNTO(S)

applied mathematics filmes finos estimativa de parametro otimização thin films parameter estimation matematica aplicada optimization

Documentos Relacionados

• Tecnicas de otimização aplicadas a filmes finos
• Otimização de parâmetros estruturais, dielétricos e ferroelétricos de filmes finos de PZT
• Análise de Superfície de Filmes Finos Poliméricos Utilizando Técnicas de Processamento de Imagens
• Otimização na geração automatica de modelos dinamicos para o controle e a estimação de parametros de robos
• Ajuste de modelos de elementos finitos usando tecnicas de estimação de parametros