Propriedades supercondutoras de filmes finos de Nb depositados por magnetron sputtering

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1996

RESUMO

Neste trabalho à estudado a deposiÃÃo de filmes finos metÃlicos e refratÃrios por magnetron sputtering utilizando-se tanto de uma fonte de como rf. Os âpontos Ãtimosâ de trabalho foram determinados em funÃÃo da pressÃo na cÃmara de deposiÃÃo e da potÃncia das fontes para os seguintes materiais: Nb, Ti, Mo, W e Si, obtendo assim um treinamento na utilizaÃÃo da mÃquina de deposiÃÃo ao mesmo tempo que preparando-a para futuros usuÃrios. Especial atenÃÃo à dada à deposiÃÃo e caracterizaÃÃo de filmes finos de Nb com espessura entre 300 à e 10000 Ã. As caracterÃsticas supercondutoras destes filmes sÃo analisadas atravÃs de medidas de susceptibilidade ac, magnetizaÃÃo dc e da razÃo de resistÃncia. O diagrama de fase campo magnÃtico â temperatura (H-T), obtido de seqÃÃncias de esfriamento a campo nulo (ZFC) e em campo (FC), revela uma forte dependÃncia da linha de irreversibilidade com a espessura do filme. Em filmes mais finos a regiÃo de irreversibilidade diminui. Este efeito à atribuÃdo a danos superficiais causados por tensÃes ou por defeitos

ASSUNTO(S)

supercondutividade thin films magnetron sputtering. magnetron sputtering filmes finos fisica supercondutivity

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