Minimizing the stroin energy of thin films on thick substrates / Minimização da energia de deformação de filmes finos com substratos espessos
AUTOR(ES)
Fábio Nery
DATA DE PUBLICAÇÃO
2009
RESUMO
O objetivo deste trabalho é a obtenção de um modelo tridimensional, que descreva as tensões que surgem em filmes finos depositados em substratos espessos planos. Para isto é utilizado o método da minimização da energia de deformação da amostra (filme fino/substrato), já descrito e utilizado na literatura para uma descrição unidimensional do problema. A vantagem deste método é sua maior simplicidade em relação a uma abordagem tensorial do problema, uma vez que envolve uma grandeza escalar (energia de deformação) de identificação mais simples que as diversas componentes de um tensor de tensões. Após a apresentação do problema físico e da metodologia, é feita a aplicação a duas situações de interesse: para uma amostra submetida a valores de tensão menos elevados, adquirindo uma forma proximadamente esférica e para uma amostra submetida a valores mais elevados de tensão, adquirindo uma forma aproximadamente cilíndrica. Nestes dois casos se obteve uma fórmula que relaciona a linha de tensão do filme com a curvatura da amostra, que é então comparada com outras formulações.
ASSUNTO(S)
tension in thin films filmes finos otica equação de stoney tensão stoney equation
ACESSO AO ARTIGO
http://www.tede.udesc.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=1707Documentos Relacionados
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