Instrumentação eletrônica de apoio para um sistema de epitaxia por feixes moleculares / Electronic hardware development for molecular beam epitaxy.

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1994

RESUMO

Neste trabalho é apresentado o desenvolvimento de instrumentação eletrônica para controle e automação de um sistema de crescimento de semicondutores por Epitaxia por Feixes Moleculares. Envolve uma variedade de circuitos analógicos e digitais como: um módulo de aquisição de dados e controle baseado em uma UCP Z-80, contendo algumas interfaces digitais e analógicas multiplexadas, e comunicando-se com um microcomputador através de uma interface serial. Envolve ainda o desenvolvimento de controladores de temperatura analógicos tipo P.I.D., atuação por motores de passo e circuitos de condicionamento de sinal.

ASSUNTO(S)

analog to digital conversion step motor temperature control pc interface data acquisition molecular beam epitaxy controle de temperatura interface para pc conversor da aquisição de dados z80 z80 epitaxia por feixes moleculares motor de passo conversor ad digital to analog conversion

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