Estudo teórico de reações envolvidas no mecanismo de dissociação do NF3

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DATA DE PUBLICAÇÃO

2007

RESUMO

Nesta tese é apresentado um mecanismo para explicar a decomposição do trifluoreto de nitrogênio (NF3), composto por 14 reações e também pela reação BF2+NF. Estas 15 reações fazem parte de um mecanismo maior, escrito para simular as condições de crescimento de filmes finos de nitreto de boro, via processo CVD. O NF3 possui várias aplicações na indústria eletrônica, em sistemas de excimer laser, na fabricação de semicondutores, entre outras. Foram realizados cálculos de estrutura eletrônica para a determinação das energias, freqüências e geometrias de todas as espécies que compõem os reagentes e produtos das reações do mecanismo. As taxas de reação dos arranjos unimoleculares, abstração e troca dos sistemas NFxF e NFxN foram determinadas, usando para tal o nível de cálculo MP4/cc-pVTZ. Para a reação do sistema BF3N as taxas foram determinadas em MP 2/6 − 311 + +g(2df, 2pd). Das 14 reações estudadas, 3 delas foram comparadas com dados experimentais, estando em bom acordo com os mesmos. Curvas de energia potencial foram determinadas para os diátomos e pseudodiátomos (BF2)F, NF , (BF2)N, (N F2)F, (NF )F e F2 e as respectivas constantes espectroscópicas rovibracionais. O resultados obtidos também foram comparados com dados de referências e as diferenças encontradas ficaram dentro da precisão química aceitável.

ASSUNTO(S)

dinâmica direta teoria das estruturas de transição convencional taxa de reação fisica gaussian 98 cinética

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