Deposição de nano-camadas de VO2 por Magnetron Sputtering / Deposition of VO2 Nanolayers by Magnetron Sputtering

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

2007

RESUMO

O dióxido de Vanádio (VO2) apresenta uma transição metal isolante (MIT) próxima da temperatura ambiente com uma grande variação em suas propriedades elétricas e ópticas. Tanto as propriedades elétricas e ópticas quanto a própria temperatura de transição dependem das características morfológicas do material. Neste trabalho, nano-camadas de óxido de Vanádio foram produzidas sobre substratos de vidro pela técnica de magnetron sputtering reativo, visando determinar os parâmetros de deposição, em especial a temperatura do substrato (Ts) e pressão parcial de Oxigênio (PO2), adequadas para a obtenção da fase VO2M1. Amostras depositadas com pressões parciais de Oxigênio entre 10 e 20% da pressão total e Ts=400C apresentaram MIT quando submetidas a tratamentos térmicos ex-situ a 550C. A análise dos espectros de difração de raios-x mostrou que houve formação de mais de uma fase simultaneamente em todas as amostras, no entanto há uma correspondência recíproca entre o pico de difração de raios-x em 2q = 27,8 , correspondente ao plano (011) do VO2M1, e a transição MIT na resistividade. As medidas de resistência em função da temperatura, realizadas entre 25 e 100C, mostraram, nas amostras com VO2M1, transição com variação na resistência em até três ordens de grandeza com temperaturas críticas entre 59 e 82C e curvas de histerese com larguras entre 9 e 13C

ASSUNTO(S)

vo2 nanolayers transição metal-isolante metal-insulator transition fisica nano-camadas devo2 vo2 magnetron sputtering magnetron sputtering

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