Crescimento térmico de filmes dielétricos sobre SiC e caracterização das estruturas formadas
AUTOR(ES)
Radtke, Claudio
DATA DE PUBLICAÇÃO
2007
RESUMO
Na presente tese, foi investigado o crescimento térmico de filmes dielétricos (óxido de silício e oxinitreto de silício) sobre carbeto de silício. Além disso, os efeitos da irradiação iônica do SiC antes de sua oxidação, com o intuito de acelerar a taxa de crescimento do filme de SiO2, também foram investigados. A tese foi dividida em quatro diferentes etapas. Na primeira, foram investigados os estágios iniciais da oxidação térmica do SiC: mudanças no ambiente químico dos átomos de Si foram observadas após sucessivas etapas de oxidação térmica de uma lâmina de SiC. A partir desses resultados, em conjunto com a análise composicional da primeira camada atômica da amostra, acompanhou-se a evolução do processo de oxidação nesses estágios iniciais. Na etapa seguinte, foram utilizadas as técnicas de traçagem isotópica e análise por reação nuclear com ressonância estreita na curva de seção de choque na investigação do mecanismo e etapa limitante do crescimento térmico de filmes de SiO2 sobre SiC. Nesse estudo, compararam-se os resultados obtidos de amostras de óxidos termicamente crescidos sobre Si e sobre SiC. Na terceira etapa, foram investigados os efeitos da irradiação iônica do SiC antes de sua oxidação nas características finais da estrutura formada. Finalmente, comparam-se os resultados da oxinitretação térmica de estruturas SiO2/SiC e SiO2/Si utilizando dois diferentes gases: NO e N2O.
ASSUNTO(S)
filmes finos dieletricos silicio oxidos nitretos tratamento térmico reacao nuclear
ACESSO AO ARTIGO
http://hdl.handle.net/10183/2661Documentos Relacionados
- Filmes finos dielétricos para a tecnologia do silício : processamento térmico e caracterização
- "Películas Espessas de Carbeto de Silício, SiC, sobre Mulita"
- Obtenção de filmes finos de SiC, SiCN e AlN por magnetron sputtering para aplicação em microsensores
- Development, microstructural and mechanical caracterization of SiC ceramics with alumina and rare earth oxides additions
- Desenvolvimento, caracterização microestrutural e mecânica de cerâmicas de SiC aditivadas com alumina e óxidos de terras raras