Triode Magnetron Supttering Tms
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1. Desposição de filmes metálicos sobre a poli(Tereflalato de etileno) via Triodo-Magnetron- Sputtering: influência da corrente e das voltagem nas propriedades do filmes
O Triodo Magnetron Sputtering (TMS) é um sistema de deposição de filmes caracterizado pela introdução de um terceiro eletrodo, que é constituído de uma tela móvel aterrada, situado entre o catodo (alvo) e o anodo (substrato). Esta tela tem o papel de capturar elétrons frios (menos energéticos) da descarga. Alterando-se a posição relativa desta te
Publicado em: 2004