Silicon Pre Activated By Palladium
Mostrando 1-1 de 1 artigos, teses e dissertações.
-
1. Study of chemical deposition of cobalt on a surface of silicon pre-activated by palladium. / Estudo da deposição química de cobalto em superfícies de silício pré-ativadas por paládio.
Neste trabalho investigamos a deposição química de filmes finos de cobalto sobre superfícies de lâminas de silício, tipo P (100), previamente ativadas com paládio e estudamos alguns mecanismos químicos envolvidos no processo de deposição química de filmes finos de cobalto. Os filmes de cobalto foram caracterizados quanto sua morfologia utilizando
Publicado em: 2008