Shallow Junction
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1. Difração Bragg-Superficie (BSD) : uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de ions em supercondutores / Bragg-Surface diffraction (BSD) : high resolution microprobe to study ion implanted semiconductors
Neste trabalho, a difração Bragg-Superfície (BSD), um caso especial da difração múltipla de raios-X, foi usada como uma microssonda de superfície com resolução para a detecção de defeitos originados próximos da interface cristal-amorfo (c-a) em junções rasas de B em Si, e uma nova técnica de caracterização de semicondutores (GaAs) submetidos
Publicado em: 2006