Scanning Light Pulse Technique Slpt
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1. Sensor de imagem para detecção de gases. / Image sensor for detection of gases.
O objetivo do presente trabalho é o desenvolvimento de um dispositivo MOS como sensor de imagem química para a detecção e classificação de gases de hidrogênio e amônia através da técnica de escaneamento de luz pulsada (TELP). O dispositivo MOS foi fabricado sobre substrato de silício (100) e resistividade de 10 -cm. A porta do dispositivo foi cons
Publicado em: 2008