Pseudoelectrode
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1. Caracterização elétrica de dispositivos tipo ISFET com estrutura Si/SiO2/Si3N4 para medição de pH utilizando pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au. / Electrical characterization of ISFET devices with Si/SiO2/Si3N4 structure to measure pH using Pt, Ag, and Au pseudoelectrodes.
Neste trabalho, foi realizado um estudo da caracterização elétrica dos ISFETs com estrutura Si/SiO2/Si3N4, utilizando pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au como alternativas aos eletrodos convencionais para medições de pH. Primeiramente, foram empregados três métodos reportados na literatura (extrapolação linear para obtenção da tensão de limiar, segund
Publicado em: 2008