Oxidacao Anodica Seletiva
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1. Local anodic oxidation (LAO) lithography of nanodevices by means of atomic force microscopy / Litografia por oxidação anodica seletiva de nanodispositivos atraves de microscopia de força atomica
A Oxidação anódica local em substratos tanto semicondutores quanto metálicos através do Microscópio de Força Atômica tem surgido ao longo dos últimos anos como uma das técnicas de litografia mais confiáveis e versáteis para a fabricação de dispositivos e estruturas em escala nanométrica. Embora aspectos fundamentais, como a dinâmica envolvida
Publicado em: 2006