Nitretos De Alumanio
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1. Estudos em plasmas gerados em sistema magnetron para deposiÃÃo de nitreto de alumÃnio em baixa temperatura.
O nitreto de alumÃnio (AlN) tem atraÃdo muito interesse pelas suas notÃveis propriedades fÃsicas: dureza, alta condutividade tÃrmica, resistÃncia para altas temperaturas. Uma fonte de catodo oco DC foi adicionada a um sistema de sputtering magnetron. Isto leva a uma ionizaÃÃo na regiÃo do catodo e habilita a descarga a operar a pressÃes significati
Publicado em: 2007