Monitor Optico Banda Larga
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1. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless / Broadband direct optical monitoring system for multilayer thin film manufacturing with sensorless synchronization
Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O sistema tradicional de monitoramento de espessura de filmes, baseado em cristal ressonante, não atende aos requisitos de precisão e repeti
Publicado em: 2011