Implantacao De Ions Retroespalhamento Rutherford Efeito Mossbauer Microscopia Eletronica De Transmissao Tratamento Termico
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1. Estudos da formação, estabilidade e ordenamento da fase gamma FeSi 2 produzida pela técnica de implantação iônica
In the present work we implanted Fe ions into Si samples that are subsequently recrystallized by Ion Beam Induced Epitaxial Crystallization (IBIEC) technique. Four analysis techniques (RBS, Channeling, Mõssbauer and TEM) were used in order to study the following aspects: a) phases obtained by IBIEC as a function of Fe implanted concentration; b) thermal sta
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 1996