Holografia Interfermetrica
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1. Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica / Design and fabrication of nano-structures by interforometric lithography
In this work the interferometric lithography technique was developed for recording periodic relief nano-structures, one and bi-dimensional, on silicon and glass substrates. In particular, the work is focused in two directions: the study of the profile of the structures recorded in photorresist, through the superimposition of interference light patterns, and
Publicado em: 2008
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2. Desenvolvimento de processos de replicação de elementos opticos de elementos opticos difrativos
Esta tese trata do desenvolvimento de processos de replicação de elementos ópticos difrativos. Este processo pode ser dividido em três etapas: gravação do elemento óptico matriz, confecção do molde e obtenção das réplicas. O estudo conduzido foi baseado em dois tipos de elementos: matrizes de microlentes e redes de difração holográficas. As ma
Publicado em: 2003