Diagnastico De Plasmas
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1. Catodo oco com constriÃÃo para corrosÃo de materiais eletrÃnicos em alto vÃcuo.
Neste trabalho foram desenvolvidos estudos sobre um jato de plasma com o objetivo de aperfeiÃoar seu emprego para corrosÃo (plasma etching) de materiais eletrÃnicos. Foi investigado um novo tipo de reator, recentemente desenvolvido, no qual um jato de plasma à gerado em alto vÃcuo a fim de proceder à corrosÃo dos materiais. Com o intuito de determinar
Publicado em: 2006
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2. InvestigaÃÃes em plasmas gerados em descarga de catodo oco plano.
Descargas de catodo oco (DCO) sÃo capazes de gerar plasmas densos e sÃo empregadas para o desenvolvimento de reatores a plasma em baixa pressÃo, com taxas elevadas de produÃÃo de partÃculas reativas e alta eficiÃncia de processamento de materiais. A caracterÃstica geomÃtrica de uma DCO promove oscilaÃÃes de elÃtrons de alta energia dentro do cato
Publicado em: 2005
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3. Desenvolvimento de um sistema de feixe de lÃtio neutro e rÃpido para determinaÃÃo da densidade da borda do plasma no Tokamak esfÃrico ETE.
Para cumprir um dos principais planos de pesquisa do Experimento Tokamak EsfÃrico - ETE, que à o de investigar a regiÃo de borda da coluna de plasma em dispositivos de baixa razÃo de aspecto, desenvolveu-se um sistema de diagnÃstico baseado em um Feixe de LÃtio Neutro e RÃpido - FLNR. Nos diagnÃsticos de feixes atÃmicos, como à o caso do FLNR, os p
Publicado em: 2004
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4. Estudo da interaÃÃo de ondas de pressÃo numa coluna positiva em funÃÃo dos parÃmetros do plasmas.
Este trabalho foi desenvolvido com o objetivo de se aplicar uma tÃcnica inÃdita para se determinar a velocidade de propagaÃÃo de ondas de pressÃo em uma coluna de plasma fracamente ionizado. Essas ondas sÃo geradas pela emissÃo de sinal de ruÃdo branco, acopladas ao plasma atravÃs de transdutores piezelÃtricos. A caracterizaÃÃo da velocidade de p
Publicado em: 2003