Column Interns Of Plasma
Mostrando 1-1 de 1 artigos, teses e dissertações.
-
1. Construção, caracterização e aplicação de eletrodos para descarga por arco de cátodo oco
O sistema construído para caracterizar eletrodos e, conseqüentemente, filmes finos depositados é constituído por um cátodo oco que trabalha a altas e baixas pressões (aproximadamente 10-3 a 5 mbar), uma fonte DC (0 a 1200 V), uma câmara cilíndrica de borossilicato fechada por flanges de aço inox com uma associação de bombas de vácuo mecânica e d
Publicado em: 2008