Taxa de crescimento de filmes de diamante CVD em superfícies de molibdênio
AUTOR(ES)
Fujiy, Oswaldo Kazushi, Trava-Airoldi, Vladimir Jesus, Corat, Evaldo José, Ferreira, Marcelo Juni, Amorim, Amaurí, Moro, João Roberto
FONTE
Rem: Revista Escola de Minas
DATA DE PUBLICAÇÃO
2007-06
RESUMO
O preparo dos substratos, para o crescimento de filmes de diamante CVD, é de fundamental importância por diversos fatores. Um novo método de preparação dos substratos de molibdênio, o jateamento por óxido de alumínio, é apresentado e comparado com os métodos tradicionais de preparo. As amostras de diamante CVD obtidas foram analisadas por espectroscopia de espalhamento RAMAN e por microscopia eletrônica de varredura (MEV). Obtiveram-se filmes de diamante CVD de boa qualidade e uniformidade e o novo processo proposto de tratamento do substrato de molibdênio permitiu maior taxa de crescimento que os métodos tradicionais.
ASSUNTO(S)
diamante cvd substrato de molibdênio taxa de crescimento
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