Sensor de umidade microeletronico baseado e capacitor com dieletrico higroscopico
AUTOR(ES)
Paulo Zambrozi Junior
DATA DE PUBLICAÇÃO
2005
RESUMO
This work present the development, fabrication and caractization of a microelectronic sensor, based on a capacitor with hygroscopic dielectric. The hygroscopic dieletric was obtained through LPCVD using a vertical reactor. Images obtained by Atomic Force Microscope ? AFM allowed to optimize the morphology of the hygroscopic dieletric. A circuit converter based on the switched-capacitor technique was implemented to convert the variation of the capacitance of the humidity sensor in voltage variation. Experimental results presented a maximum sensitivity of 23.3mV/%RH to RH ranging between 15%RH and 70%RH
ASSUNTO(S)
detectores higrometria cristais de silicio - propriedades eletricas amplificadores operacionais
ACESSO AO ARTIGO
http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000374592Documentos Relacionados
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