Modificação de superfície de diamante utilizando plasma e caracterização por kelvin force microscopy / Modification of diamont surface using plasma and characterization by kelvin force microscopy

AUTOR(ES)

Wagner Wlysses Rodrigues de Araujo

DATA DE PUBLICAÇÃO

2010

RESUMO

Neste trabalho nós produzimos e caracterizamos superfícies de diamante policristalino com áreas seletivas oxidadas e fluoradas a partir de superfícies originalmente hidrogenadas, usando um canhão de plasma para bombardear a superfície do diamante. A técnica que foi utilizada para a produção de filmes de diamante com superfícies hidrogenadas foi a deposição química a vapor por plasma de microondas. A seletividade de área para posterior oxidação foi realizada através de litografia por feixe de elétrons. A oxidação e a fluoração das áreas selecionadas foi feita por plasma de oxigênio e hexaflureto de enxofre, respectivamente. As caracterizações foram realizadas através de microscopia eletrônica de varredura convencional, microscopia de força atômica, Kelvin Force Microscopy e medida de ângulo de contato.

ASSUNTO(S)

condensed matter physics electric potential filmes finos física da matéria condensada physical surface potencial elétrico superfície física thin films

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