Estudos de espelhos dielÃtricos multicamadas para laser de Nd-YAG.

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1999

RESUMO

Foram realizados estudos sobre as propriedades Ãpticas, atravÃs das medidas de Ãndice de refraÃÃo e coeficiente de absorÃÃo, dos materiais pentÃxido de tÃntalo ( Ta2O5 ) e Ãxido de zircÃnio ( ZrO2 ), na forma de filmes finos, antes e apÃs tratamento tÃrmico. Os filmes foram produzidos utilizando a tÃcnica de evaporaÃÃo por feixe de elÃtrons, com a pressÃo residual de oxigÃnio de 1,0.10-4 torr, e a temperatura de 135ÂC, em substrato de vidro BK-7. Foram utilizadas duas tÃcnicas de caracterizaÃÃo Ãptica: elipsometria e o mÃtodo de envelope. TambÃm foi utilizada a difraÃÃo de raios-x de baixo Ãngulo para medida da espessura dos filmes.

ASSUNTO(S)

evaporaÃÃo filmes finos propriedades Ãpticas refraÃÃo tratamento tÃrmico feixes de elÃtrons Ãptica eletrÃnica aplicaÃÃes de laser espelhos

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