Estudo teórico e experimental sobre uma descarga R.F. acoplada indutivamente

AUTOR(ES)

Jayr de Amorim Filho

FONTE

IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia

DATA DE PUBLICAÇÃO

01/01/1989

RESUMO

Neste trabalho são apresentados os resultados de investigações realizadas em uma descarga de rádio-frequência acoplada indutivamente, operando na faixa de pressão de 1 mtorr a 200 mtorr de argônio, com potências de 50 W a 400 W e frequência de 11,41 MHz. Inicialmente foi feito um estudo da ruptura do gás seguido da análise de um modelo teórico para a descarga. Dois modos de operação da descarga foram identificados, modo E e modo H. Através de sonda simples e sonda dupla caracterizamos as propriedades da descarga operando nos distintos modos. A transição entre os modos da descarga foi caracterizada através de curvas de variação da temperatura de elétrons e densidade de plasma em função da pressão do gás e potência de RF.

ASSUNTO(S)

descargas elétricas plasmas (física) física de plasmas física

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