Estudo da formação de hidrogênio atômico no filamento do reator HFCVD / Study of the formation of atomic hydrogen in the filament of reactor HFCVD

AUTOR(ES)
FONTE

IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia

DATA DE PUBLICAÇÃO

28/02/2005

RESUMO

A complexidade do entendimento no processo de deposição de diamantes HFCVD é causada pela interdependência de quatro estágios principais que são: formação de radicais perto do filamento, seu transporte, reações químicas na fase gasosa e reações químicas na superfície do substrato. Para entender os fenômenos que ocorrem durante o processo de deposição na geometria complexa como a do reator tipo CVD e para otimizar o crescimento do filme de diamante, com espessura uniforme e de boa qualidade, foram realizados estudos dos fenômenos físico-químicos que ocorrem perto do filamento. Na superfície do filamento ocorrem reações heterogêneas. Devido a alta temperatura do filamento comparada com o ambiente do reator e as pequenas dimensões do filamento existem grandes gradientes de temperatura e de concentração de espécies perto do mesmo. Por isso, se faz necessário investigar os diversos tipos de transporte, tais como difusão de espécies devido a gradiente de temperatura e difusão de calor devido a gradiente de concentração das mesmas. Do ponto de vista computacional estes fenômenos serão estudados através de um modelo unidimensional, com uma malha unidimensional não uniforme, sendo a mesma mais refinada nas regiões próximas ao filamento onde os fenômenos físicoquímicos acontecem. O código computacional desenvolvido para este fim utiliza malha deslocada.

ASSUNTO(S)

fisica de materiais diamante deposição química a vapor filamento quente hidrogênio atômico simulação materials physics diamond chemical vapor deposition hot filament atomic hidrogen simulation

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