Desenvolvimento experimental de uma camara para medida de emissão de eletrons por catodos frios / Development of a vacuum set-up for the measurement of cold cathode field electron emission

AUTOR(ES)

Mauro Vanderlei de Amorim

DATA DE PUBLICAÇÃO

2005

RESUMO

Foi desenvolvida uma câmara de vácuo para estudo das propriedades elétricas de emissão de elétrons por catodos frios de vários materiais de interesse tecnológico, por exemplo, diamante dopado, filmes de carbono diamantífero e silício. Na parte experimental realizamos um sistema de alto vácuo (bomba mecânica mais a bomba difusora), um sistema de posicionamento de 6 graus de liberdade e um sistema de medida da corrente de emissão de elétrons. A modelagem matemática da emissão foi baseada na teoria de Fowler ? Nordheim. Foram feitos os cálculos relativos às propriedades de vácuo do sistema utilizado e a seguir a caracterização de algumas amostras de estruturas nanométricas produzidas utilizando o processo de deposição química a partir da fase vapor do etanol (HFCVD) com altas concentrações de hélio e argônio

ASSUNTO(S)

fowler-nordheim theory vacuum set-up vacuum chamber nanoestructures electrons emission nanoestrutura eletrons - emissão vacuo - tecnologia

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