Desenvolvimento de um microscópio confocal de varredura laser para caracterização topográfica de superfícies / Development of a microscope confocal scanning laser surface characterization of surveying

AUTOR(ES)
FONTE

IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia

DATA DE PUBLICAÇÃO

23/04/2012

RESUMO

Este trabalho tem como objetivo desenvolver uma técnica de caracterização topográfica de superfícies. Desta forma, foi desenvolvido um Microscópio Óptico Confocal de Varredura Laser, alcançando resolução submicrométrica. A amostra é varrida por laser e sua imagem é virtualmente montada ponto a ponto pela detecção da intensidade da reflexão da luz na superfície da amostra. A técnica confocal se caracteriza pela utilização de uma abertura circular no caminho óptico, este tem a função de eliminar a luz refletida que esteja fora do plano focal. Em comparações com outras técnicas de caracterização topográficas de superfícies: Interferometria Laser e Microscopia de Força Atômica, o protótipo desenvolvido mostrou um desempenho satisfatório. Os resultados com relação à resolução óptica são compatíveis com os melhores equipamentos disponíveis no mercado, resolvendo claramente padrões de 0,4 μm entre linhas. A técnica demonstra empregabilidade ilimitada em processos de pesquisa, bem como bons resultados em níveis tanto qualitativos quanto quantitativos.

ASSUNTO(S)

microscopia confocal laser topografia de superfície tribologia engenharia mecanica microscopia confocal confocal laser microscopy surface topography tribology

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