Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
AUTOR(ES)
Olga Viatcheslavovna Balachova
DATA DE PUBLICAÇÃO
2001
RESUMO
ormado.
ASSUNTO(S)
semicondutores amorfos filmes finos de diamantes medidas eletricas membranas (tecnologia)
ACESSO AO ARTIGO
http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000228130Documentos Relacionados
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