Calibração e compensação de sensores de pressão piezorresistivos. / Calibration and compensation of piezoresistive pressure sensors.

AUTOR(ES)

Alex Fukunaga Gomes

DATA DE PUBLICAÇÃO

2009

RESUMO

Este trabalho apresenta a compensação e calibração de sensores de pressão piezoresistivos com a utilização de resistores de alta precisão. Para que tal objetivo fosse cumprido, foi necessária a caracterização do sensor com relação aos parâmetros térmicos e elétricos. Além disso, foi definida uma metodologia com a qual se obteve os tempos necessários para aquisição dos dados com relação ao valor de precisão requisitada. Os resultados mostram que os valores dos resistores são dependentes da alimentação fornecida ao sensor e que a variação da tensão de saída, com relação a uma média, tem caráter parabólico. A curva do tempo de estabilização para aquisição de dados tem formato assintótico. Com a compensação e calibração tivemos uma diminuição na tensão de offset de cerca de 97% e compensação térmica com cerca de 70% para a tensão de fundo de escala, porém com isso foi reduzido 8% no valor da sensibilidade.

ASSUNTO(S)

sensor dispositivos eletrônicos microeletronics electronic devices sensor microeletrônica

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